I-MAT

Couplage MEB - Raman

Le Microscope Electronique à Balayage (MEB) permet d’observer la morphologie de matériaux conducteur et non conducteur: béton, polymère, métaux, ... Il est couplé a deux spectromètres permettant des analyses élémentaires et moléculaires.

Microscope : ZEISS GeminiSEM 300:

  • Canon électronique FEG
  • Les résolutions sont inférieures à ; 0,8 nm à 15 kV
  • Grandissement (format polaroïd) : x10 à x2.000.000.
  • Détecteurs dans la chambre d'électrons secondaires (SE) et d'électrons rétrodiffusés (BSE) compatibles avec le vide poussé et vide partiel; un détecteur en transmission (STEM).
  • Détecteurs dans la lentille d'électrons secondaires (SE).
  • Chambre permet l’introduire des échantillons de 250 mm de diamètre et 50 mm de haut. 
  • Platine froide à effet Peltier (une gamme de température minimum comprise entre 50°C et -20°C) permet d'observer des échantillons hydratés, par exemple.
  • La chambre permet de travailler en vide poussée (<2.0 x 10-4 Pa) et en vide partiel (0,5 Pa et 133 Pa) permettant de travailler avec des échantillons non conducteurs sans les métallisations

Spectromètre EDX : Bruker Quantax 123 eV

La spectroscopie EDX permet d'obtenir une information chimique, autrement dit la composition élémentaire des échantillons.

  • Eléments détectables du B au Ur
  • Le logiciel Esprit permet de réaliser des analyses ponctuelles, des profils et des cartographies
  • L'analyse quantitative est possible mais réalisée sans étalon par l’intermédiaire d'une méthode de calcul (PhiRoz ou ZAF)

 Spectromètre Raman: Witec Rise

La spectroscopie Raman permet d'accéder à des informations moléculaires (identification des groupements fonctionnels) et structurelles.

  • Laser 532 nm 75 mW
  • La résolution spectrale est inférieure à 2 cm-1
  • Le logiciel permet de réaliser un spectre ponctuel, un profil et une cartographie avec une résolution latérale de 430 nm
  • Une bibliothèque de 5000 spectres permet d’interpréter aisément les résultats

Ce système permet:

• Imagerie MEB d'échantillons conducteurs et isolants sans métallisation (mode vide partiel).
• Imagerie STEM d'échantillons fin (inférieur à 50 nm)
• Analyses élémentaires par EDX (qualitative et quantitative du bore jusqu'à l'uranium, cartographies, ...) 
• Analyses moléculaires par spectroscopie Raman (qualitative et quantitative relative, cartographies, ...)

 

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